超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率大于18 MΩ·cm﹫25℃的水，既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解得膠體物質、氣體及有機物均去除至最低程度的水，超純水是去除氧和氫以外所有原子的水。超純水的制備工藝采用預處理、反滲透技術、超純離子交換處理技術及終端修飾技術，超純水可以用于超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的生產出來的水。

去離子水是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質。”主要指采用離子交換樹脂處理方法。如今的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。在半導體行業中，去離子水被稱為超純水。